Hochvakuum – Ein und mehr-stufige Maschinen
Die ein- oder mehrstufigen Hochvakuumpumpen arbeiten auf ähnlichem Funktionsprinzip wie die ölgeschmierten Vakuumpumpen. Der Rotor ist mit Nuten ausgestattet in denen Schieber in einem Ölbad gleiten, und dieses Öl den Abstand zwischen Schieber und Stator dichtet. Durch diese Art der Abdichtung wird ein sehr hohes Vakuum erzeugt. Um ein Ölen im Anfahrvorgang zu verhindern ist eine spezielle Anlaufprozedur vorgesehen. Die Vakuumpumpen werden mit den Kundenwünschen entsprechenden Hochvakuumanschlüssen ausgerüstet. Es sind auch Sonderlösungen möglich.
Vakuum bis max. 0,005 mbar erreichbar.
Einstufige Maschinen – RC.XM
Volumen bis 0,1mbar(abs)
Mehrstufige Maschinen – RC.XD
Volumen bis 0,005mbar(abs)
Konstuktionsmerkmale:
- Kompakte Bauweise
- Wartungsarm
- Energieeffizient
Anwendungsbereiche:
- Laboranwendungen
- Rasterelektronenmikroskop
- Blistererzeugung
- Herstellung von Leuchtkörpern
- Trennung von Goldschlamm
- u. v. a.